四位半顯示讀數(shù);八量程自動(dòng)或手動(dòng)測(cè)試;
本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示,同時(shí)顯示電阻值、電阻率、方阻、電導(dǎo)率值、溫度、壓強(qiáng)值、單位自動(dòng)換算,配置不同的測(cè)試治具可以滿足不同材料的測(cè)試要求。測(cè)試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測(cè)試項(xiàng)目要求選購(gòu).
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類中,四探針法涉及到半導(dǎo)體材料、金屬材料試驗(yàn)、絕緣流體、獸醫(yī)學(xué)、復(fù)合增強(qiáng)材料、電工器件、無損檢測(cè)、集成電路、微電子學(xué)、土質(zhì)、土壤學(xué)、水質(zhì)、電子顯示器件、有色金屬。
GB/T 14141-2009 硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層薄層電阻的測(cè)定.直排四探針法
整機(jī)測(cè)量最大相對(duì)誤差:≤±3%;整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度:≤±3%
基本設(shè)置操作簡(jiǎn)單,方阻、電阻、電阻率、電導(dǎo)率和分選結(jié)果;多種參數(shù)同時(shí)顯示。
GB/T 6617-2009 硅片電阻率測(cè)定 擴(kuò)展電阻探針法
本標(biāo)準(zhǔn)適用于測(cè)量直徑大于15.9mm的由外延、擴(kuò)散、離子注人到硅片表面上或表面下形成的薄層的平均薄層電阻。硅片基體導(dǎo)電類型與被測(cè)薄層相反。適用于測(cè)量厚度不小于0.2 μm的薄層,方塊電阻的測(cè)量范圍為10A~5000n.該方法也可適用于更高或更低照值方塊電阻的測(cè)量,但其測(cè)量精確度尚未評(píng)估。
GB/T 1551-1995 硅、鍺單晶電阻率測(cè)定 直流兩探針法
GB/T 11073 硅片徑向電阻率變化的測(cè)量方法提要
便于查看的顯示/直觀的操作性:高亮度、超清晰4.3寸彩色LCD顯示;操作易學(xué),直觀使用;
提供中文或英文兩種語言操作界面選擇,滿足國(guó)內(nèi)及國(guó)外客戶需求
GB/T 1552-1995 硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直排四探針法
GB/T 6617-1995 硅片電阻率測(cè)定 擴(kuò)展電阻探針法
下列文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用商成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件,其隨后所有的修改單(不包括勘誤的內(nèi)容)或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn),然而,鼓勵(lì)根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。 GB/T 1552 硅、儲(chǔ)單晶電阻率測(cè)定 直排四探針法
正反向電流源修正測(cè)量電阻誤差
恒流源:電流量程分為: 1uA、10uA、100uA、1mA、10mA 、100mA六檔;儀器配有恒流源開關(guān)可有效保護(hù)被測(cè)件,即先讓探針頭壓觸在被測(cè)材料上,后開恒流源開關(guān),避免接觸瞬間打火。為了提高工作效率,如探針帶電壓觸單晶對(duì)材料及測(cè)量并無影響時(shí),恒流源開關(guān)可一直處于開的狀態(tài)。
在中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類中,四探針法涉及到半金屬與半導(dǎo)體材料綜合、金屬物理性能試驗(yàn)方法、、、電工合金零件、特種陶瓷、質(zhì)譜儀、液譜儀、能譜儀及其聯(lián)用裝置、電阻器、半導(dǎo)體集成電路、工程地質(zhì)、水文地質(zhì)勘察與巖土工程、水環(huán)境有毒害物質(zhì)分析方法、電工材料和通用零件綜合、半金屬、元素半導(dǎo)體材料、金屬無損檢驗(yàn)方法。
可配合多種探頭進(jìn)行測(cè)試;也可配合多種測(cè)試臺(tái)進(jìn)行測(cè)試。
測(cè)量范圍寬: 電阻:10-4Ω-10-5Ω ;方阻:10-4Ω/□-105Ω/□;
精度高:電阻基本準(zhǔn)確度: 0.05%;方阻基本準(zhǔn)確度:3%;電阻率基本準(zhǔn)確度:3%
本儀器配置各類測(cè)量裝置可以測(cè)試不同材料之電導(dǎo)率。液晶顯示,無需人工計(jì)算,并帶有溫度補(bǔ)償功能,電導(dǎo)率單位自動(dòng)選擇,BEST-300C 材料電導(dǎo)率測(cè)試儀自動(dòng)測(cè)量并根據(jù)測(cè)試結(jié)果自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程,無需人工多次和重復(fù)設(shè)置。選配:配備軟件可以由電腦操控,并保存和打印數(shù)據(jù),自動(dòng)生成圖表和報(bào)表。
范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用直排四探針測(cè)量硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層薄層電阻的方法。